Categories: 報呱世界東北亞

韓國掌握量產高純度氟化氫技術

韓國産業通商資源部發佈消息表示,日本政府自 2019 年 7 月針對半導體關鍵原物料強化輸出管理之一的「氟化氫」,韓國國內化工企業已經掌握能大量生産高純度「氟化氫」的製造技術。氟化氫具腐蝕性、有劇毒,且極易揮發,用途相當廣泛,其中高純度的氟化氫(HF)對半導體材料的生產至關重要,主要用來清洗晶圓表面,或是晶片加工過程中的清洗和蝕刻等工序。

據韓國産業通商資源部透露,韓國化學企業「Soul Brain」新建和擴建的製造工廠,可將氫氟酸(氟化氫水溶液)的雜質降至「兆分之一」,此一純度可用於要求極高純度的半導體製造。儘管韓國官方未透露具體産能,但韓國媒體認為,生産規模應可滿足韓國國內廠商七至八成的需求量。

半導體晶圓(圖/Enrique Jiménez/CC BY-SA 2.0)

韓國半導體產業高度依賴日本輸出的氟化氫。從日本進口的氟化氫占比 43.9%,且半導體製造用的高純度氟化氫幾乎 100% 從日本進口。日本對韓國進行強化輸出管理程序後,氟化氫出口額迅速減少。倘若韓國企業已經確保大量製造的技術,能夠穩定供應且獲利也無虞下,不必仰賴日本提供,對日本的相關製造商長期而言將會有不小的打擊。

參考新聞:
2020/01/02 共同社 韓国、フッ化水素製造技術確立か 高純度で大量生産可能と発表
2020/01/03 NHK 韓国 フッ化水素の国内での大量生産と供給の安定性確保を発表
2020/01/02 日経新聞 韓国、フッ化水素国産化か 高純度で大量生産と発表