5/23 update：為加強尖端半導體設備的出口管制，日本政府於 5 月 23 日宣布修正《外匯法》相關法令，並將在 7 月 23 日實施。
日本經濟產業省表示，修訂法令的原因是因為「在國際安全環境日益嚴峻的情況下，為了完善《瓦聖納協定》以防止被轉作軍事用途，同時綜合考量生產半導體設備的國家的最新出口管理趨勢等，決定將特定貨物和技術納入出口管制的對象」。
這 23 項設備包含在半導體製程中用於清洗（3 品項）、沉積（成膜，11 品項）、退火（熱處理，1 品項）、微影（曝光，4 品項）、蝕刻（3 品項）和測試（1 品項）。此外，涉及這些產品設計和製造所需的技術（包括程式等）也將納入出口管制的對象。
日本經濟產業省於 3 月 31 日宣布，將針對 23 項先進半導體製造設備實施出口管制。管制對象為生產電路線寬 14 奈米以下邏輯晶片等的製造設備。這項管制適用於所有地區。在涉及可能轉做軍事用途的先進半導體方面，美國已針對中國實施出口管制措施。在安全保障環境變得更加嚴峻的情況下，日本也在實質上與美國收攏腳步加強對應。
日本經濟產業大臣西村康稔在 31 日內閣會議後的記者會上宣布將進行《外匯及外國貿易法》（簡稱外匯法）相關法令的修正。預計於 4 月 29 日之前蒐集修正案相關的意見，訂定需要管制的設備規格，目標在 7 月施行。
日本政府至今都是根據「瓦聖納協定（Wassenaar Arrangement）」管理出口具有軍事用途風險的先進產品和技術，《讀賣新聞》指出因其締約國當中還包含俄羅斯，所以難以透過此協定達成共識。目前日本對於締約國中的俄羅斯以外的 40 個國家，以及台灣和新加坡都簡化了出口時的手續。符合一定條件的企業可以一併獲得向 42 個國家和地區的出口許可，有效期最長為 3 年。其餘包含中國等非締約國則需要取得「個別許可」。
西村雖然表示這次修法並沒有針對特定國家，但這有可能對中國等國家在半導體的開發和生產造成影響，勢必會引起他們的反彈。
這項管制也包含用於製造 10 奈米以下的半導體所需的極紫外線（EUV）光罩保護膜製造設備、以及用於 EUV 的塗層／顯影設備。此外，還有 EUV 前一代的氟化氬（ArF）浸潤式深紫外曝光機（DUV）。
這 23 項設備在半導體製程中包含用於去除雜質的「清洗」、在晶片上形成絕緣薄膜的「薄膜沉積」，以及將電路投影在光阻劑上的「微影成像」等。目前，在出口時原則上不需要日本政府的許可，但修改法令後，將引進許可制度。
經產省高層表示：「我們將重點放在高性能半導體上，對日本企業的影響有限。」
據日本半導體製造設備協會表示，日本製造的設備 2021 年度在國內外的銷售額達到 3 兆 4,430 億日圓（約新台幣 8,000 億元），其中中國佔約 3 成，銷售額為 9,924 億日圓（約新台幣 2,300 億元），是國家／地區別當中最多的。
東京威力科創（又稱東京電子, Tokyo Electron Limited, TEL）擁有 EUV 用的感光塗層／顯像設備，而尼康（Nikon Corporation）則有 ArF 浸潤式曝光機（光刻機），這些日本企業在全球半導體製造設備市場中擁有很高的市占率。大約有 10 家日本企業製造和出口 23 項受到嚴格出口管制限制的設備。
尤其是東京威力科創在半導體生產設備方面是與美國應用材料（Applied Materials, Inc.）和荷蘭艾司摩爾（ASML）並列的頂尖製造商，其在半導體製程中的「清洗」和「薄膜沉積」等許多工序中的設備擁有高市佔率。在 2022 年 3 月的地區銷售額中，中國也佔了約 30％。經產省高層表示：「如果沒有被轉作軍事用途的擔憂，則可以像以前一樣進行出口。對企業經營的影響有限。」
東京威力科創對於經產省宣布的措施表示：「我們沒有立場發表評論。會在確認管制內容後，進行適當的對應。」製造曝光設備的尼康則表示：「首先要仔細檢查管制的內容，不論內容為何，都會按照規則進行對應。」
去年 10 月，美國實質上禁止對中國出口可以開發人工智慧（AI）、超級電腦的相關半導體技術和設備等，並要求在此方面有技術實力的日本和荷蘭公司也要採取相應措施。西村解釋說：「這是我們認為有必要而引進的措施。不是要跟進美國的措施。」荷蘭政府也打算在不直接點名中國的狀況下，實施半導體製造設備的出口管制。
西村說：「如果被用於軍事目的，有可能妨礙國際和平和安全。我們在製造設備方面擁有高度競爭力，作為擁有技術的國家，我們要履行在國際社會中的責任。」
對於日本也宣布對半導體設備將實施出口管制措施，中國商務部回應：「日本做法本質上是在個別國家脅迫下對中國實施的加害行為，呼籲日方糾正錯誤做法。」
中國政府也在 4 月 5 日敦促世界貿易組織（WTO）加強監督美國、荷蘭和日本對先進半導體的相關出口管制。中國一直要求取消這類出口管制，此次也是利用國際機構來對這 3 個國家施壓。
據相關人士透露，在 4 月 3～4 日舉行的 WTO 貨品貿易理事會上，中國代表表示這項出口管制「違反了 WTO 公平和透明的原則，損害了 WTO 的權威和有效性」。此外，中方還斷言「（這 3 個國家）明確意識到有違反 WTO 規則的可能性」。
去年10 月美國對中國加強半導體出口限制，中國就在 12 月向 WTO 提出控訴。
美日荷方面則反駁道，「這是關乎國家安全的問題，不是在 WTO 討論的主題」（美國）、「是在遵從 WTO 協議的法律下所進行的應對」（日本）、「荷蘭的加強管制是由於這關乎安全問題」（歐盟）。
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