韓國掌握量產高純度氟化氫技術 by 外電組2020-01-102020-01-10 韓國産業通商資源部發佈消息表示,日本政府自 2019 年 7 月針對半導體關鍵原物料強化輸出管理之一的「氟化氫」,韓國國內化工企業已經掌握能大量生産高純度「氟化氫」的製造技術。氟化氫具腐蝕性、有劇毒,且極易揮發,用途相當廣泛,其中高純度的氟化氫(HF)對半導體材料的生產至關重要,主要用來清洗晶圓表面,或是晶片加工過程中的清洗和蝕刻等工序。